16通道传感器配套专用测量显示仪表
使用MICRO SD卡数据备份/储存
采用 7” TFT LCD 触摸显示屏
5KHz高速测量技术,支持测量软件(如编辑图案尺寸,输入图案)需要使用专用PC软件 支持RS232C通讯模式,I/O接口 采用16 BIT AD CONVERTER 用于测量0.1μm的超高精密度
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